技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及無(wú)塵室技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種潔凈室隔墻系統(tǒng)及潔凈室性能檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。也就是說(shuō)不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。潔凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。潔凈室也稱無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。

現(xiàn)有技術(shù)中，潔凈室隔墻系統(tǒng)的板與板之間通常是采用鋁型材連接，密封性能較差，且保溫隔冷效果差，達(dá)不到生產(chǎn)要求。

發(fā)明內(nèi)容

基于以上問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種潔凈室隔墻系統(tǒng)，密封性好，且潔凈室的保溫隔冷效果好，能夠滿足生產(chǎn)要求。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種潔凈室性能檢測(cè)方法，能夠準(zhǔn)確檢測(cè)潔凈室的各項(xiàng)性能，保證潔凈室滿足生產(chǎn)要求。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種潔凈室隔墻系統(tǒng)，包括：

隔板組件，包括多個(gè)墻板、多個(gè)地板和多個(gè)天花板，多個(gè)所述墻板、多個(gè)所述地板以及多個(gè)所述天花板圍設(shè)形成潔凈室；

第一連接組件，包括第一連接件和第二連接件，相鄰兩個(gè)所述墻板之間通過(guò)所述第一連接件和所述第二連接件連接；

第二連接組件，相鄰兩個(gè)所述天花板之間、相鄰兩個(gè)所述地板之間、以及所述墻板與所述地板之間、所述墻板與所述天花板之間均通過(guò)所述第二連接組件連接；

第一密封組件，所述第一連接件和所述第二連接件之間填充有所述第一密封組件。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，相鄰兩個(gè)所述墻板的一個(gè)上設(shè)置有所述第一連接件，另一個(gè)上設(shè)置有所述第二連接件，所述第一連接件上凹設(shè)有插接槽，所述第二連接件上凸設(shè)有插接凸起，所述插接凸起能夠插設(shè)連接于所述插接槽內(nèi)。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述第一密封組件包括橡膠海綿條、柔性密封條和密封膠，所述橡膠海綿條填充于所述插接槽內(nèi)，所述柔性密封條位于所述插接凸起的一側(cè)，并填充所述第一連接件與所述第二連接件之間的間隙，所述密封膠位于所述插接凸起的另一側(cè)，并填充所述第一連接件與所述第二連接件之間的間隙。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述第二連接組件包括相連的第一插接件和第二插接件，所述第一插接件具有第一安裝槽，所述第二插接件具有第二安裝槽，相鄰兩個(gè)所述天花板中的一個(gè)插設(shè)于所述第一安裝槽內(nèi)，另一個(gè)插設(shè)于所述第二安裝槽內(nèi)。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述潔凈室隔墻系統(tǒng)還包括第二密封組件，所述第二密封組件能夠填充所述天花板與所述第一安裝槽或所述第二安裝槽之間的間隙。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述潔凈室隔墻系統(tǒng)還包括緊固組件，所述墻板通過(guò)所述緊固組件固定于所述潔凈室的框架結(jié)構(gòu)上。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述緊固組件包括可拆卸連接的第一鉤掛件和第二鉤掛件，所述第一鉤掛件與所述第一連接組件連接，所述第二鉤掛件與所述框架結(jié)構(gòu)連接。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述墻板包括加強(qiáng)邊框以及覆設(shè)于所述加強(qiáng)邊框上的蓋板，所述加強(qiáng)邊框與所述蓋板之間填充有聚氨酯硬質(zhì)泡沫。

作為本發(fā)明的潔凈室隔墻系統(tǒng)的優(yōu)選方案，所述第一連接件、所述第二連接件以及所述第二連接組件均由PVC材料制備而成。

一種潔凈室性能檢測(cè)方法，用于檢測(cè)如上所述的潔凈室隔墻系統(tǒng)，具體包括以下步驟：

制作所述潔凈室的縮比模型，向所述縮比模型內(nèi)充入檢測(cè)氣體，通過(guò)對(duì)所述墻板、所述地板、所述天花板各板之間的拼接縫掃描測(cè)試，檢測(cè)拼接縫處是否有泄漏；

將所述縮比模型內(nèi)的空氣干燥至露點(diǎn)溫度小于-60℃，向所述縮比模型中充入干燥空氣，并測(cè)試該干燥空氣的露點(diǎn)溫度；

利用氬氣將所述縮比模型內(nèi)的空氣置換，靜止第一預(yù)設(shè)時(shí)間后，測(cè)試所述縮比模型內(nèi)CO 2的濃度值變化；

將氮?dú)夤薹胖糜谒�述縮比模型中間，并打開(kāi)所述氮?dú)夤薜墓奚w靜置第二預(yù)設(shè)時(shí)間，待所述縮比模型的板材表面溫度降至-163℃后，檢測(cè)所述縮比模型的板材外側(cè)溫度值。

本發(fā)明的有益效果為：

本發(fā)明提供的潔凈室隔墻系統(tǒng)，潔凈室的四周圍墻均由多個(gè)墻板拼接而成，相互拼接的兩個(gè)墻板之間通過(guò)第一連接件和第二連接件連接，并在第一連接件和第二連接件之間填充第一密封組件，使得相鄰兩個(gè)墻板之間能夠密封連接。潔凈室的頂部由多個(gè)天花板拼接而成，潔凈室的底部由多個(gè)地板拼接而成，多個(gè)天花板之間、多個(gè)地板之間、墻板與地板之間以及墻板與天花板之間均通過(guò)第二連接組件連接，以使相鄰兩個(gè)天花板之間、相鄰兩個(gè)地板之間、墻板與地板之間以及墻板與天花板之間均密封連接。上述連接方式能夠保證隔板組件圍設(shè)形成的潔凈室的密封性，從而使?jié)崈羰揖哂辛己玫谋�溫隔冷性能，以滿足生產(chǎn)要求。

本發(fā)明提供的潔凈室性能檢測(cè)方法，向縮比模型內(nèi)充入檢測(cè)氣體，通過(guò)對(duì)墻板、地板、天花板各板之間的拼接縫掃描測(cè)試，檢測(cè)拼接縫處是否有泄漏，能夠準(zhǔn)確檢測(cè)潔凈室的密封性能；向縮比模型中充入干燥空氣，并測(cè)試該干燥空氣的露點(diǎn)溫度，能夠測(cè)試潔凈室的散水率；利用氬氣將縮比模型內(nèi)的空氣置換，能夠測(cè)試縮比模型內(nèi)CO 2的濃度值變化，以判斷縮比模型所使用的材料是否向空氣中揮發(fā)CO 2，檢測(cè)板材的材料是否合格；利用氮?dú)鈱⒖s比模型的板材表面溫度降至-163℃后，檢測(cè)縮比模型的板材外側(cè)溫度值，能夠判斷潔凈室的保溫隔冷性能是否合格。通過(guò)該方法檢測(cè)潔凈室的各項(xiàng)性能，能夠保證潔凈室滿足生產(chǎn)要求。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單的介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的內(nèi)容和這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明具體實(shí)施方式提供的潔凈室隔墻系統(tǒng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明具體實(shí)施方式提供的潔凈室隔墻系統(tǒng)的平面示意圖；

圖3是圖2中A處的局部放大圖；

圖4是圖2中B處的局部放大圖；

圖5是圖2中C處的局部放大圖；

圖6是圖2中D處的局部放大圖；

圖7是本發(fā)明具體實(shí)施方式提供的潔凈室隔墻系統(tǒng)的墻板的分解視圖；

圖8是本發(fā)明具體實(shí)施方式提供的潔凈室的縮比模型圖。

圖中：

1-隔板組件；2-第一連接組件；3-第二連接組件；4-第一密封組件；5-第二密封組件；6-緊固組件；7-進(jìn)氣口；8-地面；9-土建墻；10-防潮墊；

11-墻板；12-地板；13-天花板；

111-加強(qiáng)邊框；112-蓋板；113-聚氨酯硬質(zhì)泡沫；114-密封圈；

21-第一連接件；22-第二連接件；221-插接凸起；

31-第一插接件；32-第二插接件；

41-橡膠海綿條；42-柔性密封條；43-密封膠；

61-第一鉤掛件；62-第二鉤掛件；63-螺釘；

100-潔凈室；101-框架結(jié)構(gòu)；

200-龍骨；300-壓力測(cè)試探頭；400-露點(diǎn)測(cè)試探頭；500-CO 2測(cè)試探頭。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題、采用的技術(shù)方案和達(dá)到的技術(shù)效果更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案作進(jìn)一步的詳細(xì)描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例�；�于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。其中，術(shù)語(yǔ)“第一位置”和“第二位置”為兩個(gè)不同的位置。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

如圖1至圖3所示，本實(shí)施例提供一種潔凈室隔墻系統(tǒng)，該潔凈室隔墻系統(tǒng)包括隔板組件1、第一連接組件2、第二連接組件3和第一密封組件4。

其中，隔板組件1包括多個(gè)墻板11、多個(gè)地板12和多個(gè)天花板13，多個(gè)墻板11、多個(gè)地板12以及多個(gè)天花板13圍設(shè)形成潔凈室100。第一連接組件2包括第一連接件21和第二連接件22，相鄰兩個(gè)墻板11之間通過(guò)第一連接件21和第二連接件22連接，第一連接件21和第二連接件22之間填充有第一密封組件4。相鄰兩個(gè)天花板13之間、相鄰兩個(gè)地板12之間、以及墻板11與地板12之間、墻板11與天花板13之間均通過(guò)第二連接組件3連接。

參閱圖1和圖2，搭建潔凈室隔墻系統(tǒng)時(shí)，潔凈室100的四周圍墻均由多個(gè)墻板11拼接而成，相互拼接的兩個(gè)墻板11之間通過(guò)第一連接件21和第二連接件22連接，并在第一連接件21和第二連接件22之間填充第一密封組件4，使得相鄰兩個(gè)墻板11之間能夠密封連接。潔凈室100的頂部由多個(gè)天花板13拼接而成，潔凈室100的底部由多個(gè)地板12拼接而成，多個(gè)天花板13之間、多個(gè)地板12之間、墻板11與地板12之間以及墻板11與天花板13之間均通過(guò)第二連接組件3連接，以使相鄰兩個(gè)天花板13之間、相鄰兩個(gè)地板12之間、墻板11與地板12之間以及墻板11與天花板13之間均密封連接。上述連接方式能夠保證隔板組件1圍設(shè)形成的潔凈室100的密封性，從而使?jié)崈羰?00具有良好的密封性和保溫隔冷性能，以滿足生產(chǎn)要求。

如圖1所示，潔凈室100的最外層為土建墻9，潔凈室100的框架結(jié)構(gòu)101固定在土建墻9內(nèi)側(cè)，土建墻9的內(nèi)側(cè)壁均貼設(shè)有防潮墊10，墻板11固定在框架結(jié)構(gòu)101的方管上，并緊貼防潮墊10。潔凈室100的土建墻9頂部設(shè)置有龍骨200，天花板13通過(guò)龍骨200吊設(shè)在土建墻9頂部。潔凈室100的地面8也鋪設(shè)有防潮墊10，地板12鋪設(shè)于防潮墊10上。

如圖2和圖3所示，可選地，相鄰兩個(gè)墻板11的一個(gè)上設(shè)置有第一連接件21，另一個(gè)上設(shè)置有第二連接件22，第一連接件21上凹設(shè)有插接槽，第二連接件22上凸設(shè)有插接凸起221，插接凸起221能夠插設(shè)連接于插接槽內(nèi)。在搭建潔凈室100的四周圍墻時(shí)，只需將第二連接件22的插接凸起221與第一連接件21的插接槽相對(duì)并插接在一起，即可完成相鄰兩個(gè)墻板11的拼接，安裝操作簡(jiǎn)單。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例中，第一連接件21和第二連接件22均為中空結(jié)構(gòu)的異型材，在保證自身有足夠強(qiáng)度的情況下能夠有效減輕整體的重量，拼接墻板11時(shí)能夠降低勞動(dòng)強(qiáng)度，且有利于異型材的運(yùn)輸。

優(yōu)選地，第一連接件21和第二連接件22均由PVC材料制備而成，其化學(xué)穩(wěn)定性高，耐腐蝕且具有良好的力學(xué)性能，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度有保證。

可選地，參閱圖3，第一密封組件4包括橡膠海綿條41、柔性密封條42和密封膠43。其中，橡膠海綿條41填充于插接槽內(nèi)，位于插接凸起221與插接槽的接觸間隙內(nèi)。柔性密封條42位于插接凸起221的一側(cè)，并填充第一連接件21與第二連接件22之間的間隙，密封膠43位于插接凸起221的另一側(cè)，并填充第一連接件21與第二連接件22之間的間隙。本實(shí)施例中，插接槽相對(duì)的兩側(cè)均具有臺(tái)階結(jié)構(gòu)，插接凸起221相對(duì)的兩側(cè)形成凹槽，當(dāng)插接凸起221與插接槽插接后，臺(tái)階結(jié)構(gòu)嵌設(shè)于凹槽內(nèi)。柔性密封條42夾設(shè)于插接凸起221一側(cè)的臺(tái)階結(jié)構(gòu)與凹槽底壁之間，密封膠43填充于插接凸起221另一側(cè)的臺(tái)階結(jié)構(gòu)與凹槽底壁之間，實(shí)現(xiàn)第一連接件21與第二連接件22之間的密封連接，即保證相鄰兩個(gè)墻板11之間密封拼接。

優(yōu)選地，密封膠43由丁基膠和聚硫結(jié)構(gòu)膠制備而成，密封效果好。當(dāng)相鄰兩個(gè)墻板11拼接完成后，在墻板11的拼接縫表面再次涂覆一層硅酮密封膠，進(jìn)一步增強(qiáng)墻板11與墻板11之間的連接密封性。

如圖2和圖5所示，可選地，第二連接組件3包括相連的第一插接件31和第二插接件32，第一插接件31具有第一安裝槽，第二插接件32具有第二安裝槽，相鄰兩個(gè)天花板13中的一個(gè)插設(shè)于第一安裝槽內(nèi)，另一個(gè)插設(shè)于第二安裝槽內(nèi)。拼接潔凈室100的頂部時(shí)，將多個(gè)天花板13依次拼接，具體地，一個(gè)天花板13的一側(cè)邊插入第一插接件31的第一安裝槽內(nèi)，另一個(gè)天花板13的一側(cè)邊插入第二插接件32的第二安裝槽內(nèi)，以完成相鄰兩個(gè)天花板13之間的拼接。進(jìn)一步地，第一插接件31和第二插接件32均固定在龍骨200上，以將拼接好的天花板13吊設(shè)在土建墻9頂部。

本實(shí)施例中，相鄰兩地板12之間的拼接也采用相鄰兩個(gè)天花板13之間的拼接方式，此處不再贅述。

對(duì)于墻板11與地板12轉(zhuǎn)角處的拼接，參閱圖4，此時(shí)第一插接件31和第二插接件32垂直連接，第一插接件31的第一安裝槽開(kāi)口向上，第二插接件32的第二安裝槽開(kāi)口向右，墻板11的一側(cè)邊插設(shè)于第一安裝槽內(nèi)，地板12的一側(cè)邊插設(shè)于第二安裝槽內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)墻板11與地板12的連接。

對(duì)于墻板11與天花板13轉(zhuǎn)角處的拼接，參閱圖6，此時(shí)第一插接件31的第一安裝槽開(kāi)口向左，第二插接件32的第二安裝槽開(kāi)口向下，天花板13的一側(cè)邊插設(shè)于第一安裝槽內(nèi)，墻板11的一側(cè)邊插設(shè)于第二安裝槽內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)墻板11與天花板13的連接。

優(yōu)選地，天花板13采用鋁蜂巢板制備而成，鋁蜂巢板隔音、隔熱、防火，且保溫效果良好。本實(shí)施例中，潔凈室100的頂部要求能夠承載0.2kPa的風(fēng)壓，自重總荷載應(yīng)小于50kg/m 2。

進(jìn)一步地，第二連接組件3由PVC材料制備而成，PVC材料制作成本低，具有不易燃、高強(qiáng)度、耐氣侯變化等特性，且具有優(yōu)良的幾何穩(wěn)定性。

可選地，參閱圖5，潔凈室隔墻系統(tǒng)還包括第二密封組件5，第二密封組件5能夠填充天花板13與第一安裝槽的槽壁或第二安裝槽的槽壁之間的間隙，以使相鄰兩個(gè)天花板13之間密封連接，保證潔凈室100的密封性。優(yōu)選地，第二密封組件5包括氣密條，密封性能好。

如圖4和圖6所示，墻板11與第一安裝槽的槽壁或第二安裝槽的槽壁之間、以及地板12與第一安裝槽的槽壁或第二安裝槽的槽壁之間均填充有第二密封組件5，以使墻板11與地板12的轉(zhuǎn)角處密封連接，墻板11與天花板13的轉(zhuǎn)角處密封連接，提高潔凈室100的密封度。

進(jìn)一步地，在墻板11與地板12的轉(zhuǎn)角連接處、墻板11與天花板13的轉(zhuǎn)角連接處于氣密條外側(cè)再涂覆一層硅酮密封膠，保證墻板11與地板12、墻板11與天花板13之間的連接密封性。

可選地，參閱圖3，潔凈室隔墻系統(tǒng)還包括緊固組件6，墻板11通過(guò)緊固組件6固定于潔凈室100的框架結(jié)構(gòu)101上。本實(shí)施例中，緊固組件6包括可拆卸連接的第一鉤掛件61和第二鉤掛件62，第一鉤掛件61與第一連接組件2連接，第二鉤掛件62與框架結(jié)構(gòu)101連接，以使拼接后的墻板11固定于框架結(jié)構(gòu)101上。具體地，緊固組件6還包括螺釘63，第一鉤掛件61與第一連接件21之間使用螺釘63連接，第一鉤掛件61與第二鉤掛件62之間也使用螺釘63連接，第二鉤掛件62遠(yuǎn)離第一鉤掛件61的一端通過(guò)螺釘63與框架結(jié)構(gòu)101的方管固定在一起，從而將拼接好的墻板11固定在框架結(jié)構(gòu)101的方管上。

優(yōu)選地，第一鉤掛件61和第二鉤掛件62均采用鋁合金型材制備而成，強(qiáng)度足且易安裝。

如圖7所示，可選地，墻板11包括加強(qiáng)邊框111以及覆設(shè)于加強(qiáng)邊框111上的蓋板112，加強(qiáng)邊框111與蓋板112之間填充有聚氨酯硬質(zhì)泡沫113。加強(qiáng)邊框111的上下兩側(cè)均覆設(shè)一塊蓋板112，以將聚氨酯硬質(zhì)泡沫113封堵于加強(qiáng)邊框111內(nèi)。加強(qiáng)邊框111能夠增加墻板11的整體強(qiáng)度，聚氨酯硬質(zhì)泡沫113具有良好的保溫隔冷性能，從而能夠保證潔凈室100的保溫隔冷性能。進(jìn)一步地，蓋板112與加強(qiáng)邊框111的連接處均設(shè)置有密封圈114，密封圈114能夠填充蓋板112與加強(qiáng)邊框111之間的縫隙，提高墻板11的保溫性能。本實(shí)施例中，蓋板112優(yōu)選為1.5mm厚的殷鋼板，加強(qiáng)邊框111由PVC材料制成，墻板11整體厚度為100mm，保證潔凈室100的墻體結(jié)構(gòu)表面能夠承載±0.2kPa的風(fēng)壓。

本實(shí)施例中，地板12的結(jié)構(gòu)與墻板11相同，但地板12的厚度大于墻板11厚度，例如地板12厚度可以為200mm，以使?jié)崈羰?00的地面8能夠承受至少200kg/m 2的活荷載。

本實(shí)施例還提供一種潔凈室性能檢測(cè)方法，用于檢測(cè)如上所述的潔凈室隔墻系統(tǒng)，具體包括以下步驟：

步驟一：密封性檢測(cè)

檢測(cè)潔凈室100的性能前需制作潔凈室100的縮比模型(如圖8所示)，其中，縮比模型外側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口7，用于通入干燥氣體�？s比模型內(nèi)設(shè)置有壓力測(cè)試探頭300、露點(diǎn)測(cè)試探頭400和CO 2測(cè)試探頭500，分別用于檢測(cè)潔凈室100的密封性、散水率和散CO 2率。在檢測(cè)潔凈室100的密封性能時(shí)，向縮比模型內(nèi)充入檢測(cè)氣體，通過(guò)對(duì)墻板11、地板12、天花板13各板之間的拼接縫掃描測(cè)試，檢測(cè)拼接縫處是否有泄漏。具體地，若壓力測(cè)試探頭300檢測(cè)到各板之間的拼接縫隙處檢測(cè)氣體泄漏率小于1.0×10-5Pa?m 3/s，則表示潔凈室100的密封性達(dá)到生產(chǎn)要求。優(yōu)選地，檢測(cè)氣體為氦氣。

在其他實(shí)施例中，也可在縮比模型內(nèi)部發(fā)煙，外部使用光度計(jì)掃描拼接縫處的泄漏情況，以判斷潔凈室100的密封性是否滿足要求。

步驟二：散水率測(cè)試

將縮比模型內(nèi)的空氣干燥至露點(diǎn)溫度小于-60℃，有進(jìn)氣口7向縮比模型中充入干燥空氣，并測(cè)試該干燥空氣的露點(diǎn)溫度。通過(guò)測(cè)試露點(diǎn)溫度判斷空氣中含濕量的變化值，能夠測(cè)試潔凈室100的散水率。示例性的，對(duì)于內(nèi)表面凈尺寸不小于6m(長(zhǎng))×4m(寬)×4m(高)的密封系統(tǒng)縮比模型，在3h內(nèi)將其內(nèi)部空氣常壓露點(diǎn)降至小于-60℃后(利用露點(diǎn)測(cè)試探頭400測(cè)試露點(diǎn))，關(guān)閉送、回風(fēng)系統(tǒng)，測(cè)試其內(nèi)表面在60min內(nèi)的平均散水率，并以此推算實(shí)際潔凈室100內(nèi)表面的總散水量，若散水率不大于30g/h，則表示潔凈室100的散水率滿足生產(chǎn)要求。

步驟三：散CO 2率測(cè)試

利用氬氣將縮比模型內(nèi)的空氣置換，靜止第一預(yù)設(shè)時(shí)間后，測(cè)試縮比模型內(nèi)CO 2的濃度值變化，以判斷縮比模型所使用的材料是否向空氣中揮發(fā)CO 2，檢測(cè)板材的材料是否合格。本實(shí)施例中，選用純凈度99.999％的高純凈氬氣，以內(nèi)表面凈尺寸不小于6m×4m×4m的密封系統(tǒng)縮比模型為例，在3h內(nèi)將其內(nèi)部空氣的CO 2濃度降至小于10ppm后(利用CO 2測(cè)試探頭500測(cè)試CO 2濃度)，測(cè)試其內(nèi)表面在60min內(nèi)的平均散CO 2率，并以此推算實(shí)際潔凈室100內(nèi)表面的總散CO 2率，若散CO 2率不大于30g/h，則表示潔凈室100的散CO 2率滿足生產(chǎn)要求。

步驟四：保溫隔冷性能測(cè)試

將氮?dú)夤薹胖糜诳s比模型中間，并打開(kāi)氮?dú)夤薜墓奚w靜置第二預(yù)設(shè)時(shí)間，待縮比模型的板材表面溫度降至-163℃后，檢測(cè)縮比模型的板材外側(cè)溫度值。本實(shí)施例中，待打開(kāi)罐蓋的氮?dú)夤拊诳s比模型內(nèi)靜止30min后，此時(shí)板材表面的溫度會(huì)降至-163℃，通過(guò)檢測(cè)縮比模型的板材外側(cè)溫度值，能夠判斷潔凈室100的保溫隔冷性能是否合格。

本實(shí)施例提供的潔凈室性能檢測(cè)方法，通過(guò)檢測(cè)潔凈室100的各項(xiàng)性能，能夠保證潔凈室100滿足生產(chǎn)要求，為產(chǎn)品順利生產(chǎn)提供保障。

注意，上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本發(fā)明不限于這里的特定實(shí)施例，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，雖然通過(guò)以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說(shuō)明，但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。